NUMERICAL STUDY OF THE DLC FILM FLOW FIELD ON THE CVD REACTOR, Paper number: MJ1

in International Symposium (oral presentation paper), 國際研討會(全文口頭發表)
標題NUMERICAL STUDY OF THE DLC FILM FLOW FIELD ON THE CVD REACTOR, Paper number: MJ1
出版類型國際研討會(全文口頭發表)
出版年度2008
AuthorsJik Chang Leong, 梁智創, Miao JM M. J. M., Feng WC F. W. C., & Tai 戴昌賢
出版日期Jul 1 2008 12:0
會議地點Pretoria
其他編號0000
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