微電化學加工於創新被動式微混合器之製程參數研究 | Faculty Open Information System

微電化學加工於創新被動式微混合器之製程參數研究

in National workshop (full text oral presentation), 國內研討會(全文口頭發表)
標題微電化學加工於創新被動式微混合器之製程參數研究
出版類型國內研討會(全文口頭發表)
出版年度2008
Authors, 陳盈廷, Tzu-Chien Tsao 曹子謙, Chun-Ping Jen 任春平, & Wei Te Wu(Benny) 吳瑋特
會議名稱中華民國力學學會第三十二屆全國力學會議
出版日期Nov 28 2008 12:0
會議地點嘉義
其他編號0000
中文摘要

本研究利用微電化學加工(Micro-Electrochemical Machining, μ-ECM)於AISI 304不鏽鋼針,製作陣列式微孔洞結構之加工參數探討,並應用於實驗室晶片中使其為被動式微混合器。實驗先以AISI 304不鏽鋼平版為基材,研究不同之電解液種類、濃度及電壓大小等加工參數探討,藉以測試出最佳化之加工條件,進而運用在不鏽鋼針上之微陣列開孔。實驗結果發現,依不同之電解液濃度,開孔加工之效果有明顯之差異。電解液濃度較低時,加工效果較不明顯,效率較低,反之,若電解液濃度過高時,因反應劇烈,反應區產生大量氣泡而讓電解反應受阻礙,因此濃度過高或過低皆會對加工效率有所影響。對於不同之施加電壓也同樣有上述之現象產生,因此本研究針對不同加工參數之測試,找出適合之參數條件,並應用於外徑1.2 mm(內徑1 mm)不鏽鋼針外鞘之陣列式開孔。

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