類鑽膜製程流場模擬分析

in Domestic Journal (Other), 國內期刊(其他)
標題類鑽膜製程流場模擬分析
出版類型國內期刊(其他)
出版年度2008
AuthorsHsu, 徐子圭, Lo S.W. 羅四維, 馮維中, & Tai 戴昌賢
期刊航空技術學院學報
開始頁25
頁數9
出版日期2008 / 8
其他編號0000
中文摘要

本文主要探討類鑽碳(Diamond-Like Carbon ;DLC)薄膜最佳均勻度製程參數,分析反應氣體速度對薄膜性質的影響。透過數值模擬方式進行流場、熱傳遞、表面化學反應,質傳遞等數值模型建構研究與分析,以提供製程參數調整,以確保在戰場惡劣的環境中,薄膜可保護紅外線熱像偵測系統鏡片模組且不影響系統正常作動。

期刊名稱Journal of Air Force Institute of Technology
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