氧化鎳薄膜氣體傳感器性能提升

in Chinese journal(EI), 中文期刊(EI)
標題氧化鎳薄膜氣體傳感器性能提升
出版類型中文期刊(EI)
出版年度2008
AuthorsChia-Yen Lee, 李佳言, CHIN-LUNG CHANG 張金龍, Tai 戴昌賢, Chiu-Feng Lin 林秋豐, & Fu Lung-Ming 傅龍明
期刊功能材料與器件學報
開始頁394
頁數4
出版日期2008 / 4
其他編號0000
中文摘要

本文的目的在於優化甲醛氣體傳感器。微型甲醛氣體傳感器設計是以石英玻璃當做基材,白金(Pt)被當作微型加熱器電阻來加熱感測層,並以氧化鎳(NiO)薄膜作為感測層。當環境內有甲醛氣體存在時,NiO薄膜層上導電度會增加,因而導致感測層電阻值降低。此微傳感器,薄膜為0.34μm,在300度C反應時間只需6秒,靈敏度可答13.5kΩ/ppb,最低偵測限度可以量測到40ppb。而本研究中針對不同的甲醛氣體濃度,分別添加金當期催化劑、玻璃基材上共濺鍍氧化鎳與氧化鋁、並比較有無指叉電極、改變基材溫度...等,以提升其氧化鎳薄膜感測性能。

期刊名稱Journal of functional materials and devices
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