MEMS-based benzene gas sensor with WO3 thin film

in English journal, 英文期刊
標題MEMS-based benzene gas sensor with WO3 thin film
出版類型英文期刊(EI)
出版年度2008
AuthorsChia-Yen Lee, 李佳言, CHIN-LUNG CHANG 張金龍, Chiu-Feng Lin 林秋豐, Chyuan-Yow 曾全佑, & Fu Lung-Ming 傅龍明
開始頁389
頁數4
出版日期2008 / 1
其他編號0000
期刊名稱Journal of Functional Materials and Devices
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