Structural and Electrical Properties of Microcrystalline Silicon Films Deposited at Room Temperature using ICP

in International Symposium (oral presentation paper), 國際研討會(全文口頭發表)
標題Structural and Electrical Properties of Microcrystalline Silicon Films Deposited at Room Temperature using ICP
出版類型國際研討會(全文口頭發表)
出版年度2008
AuthorsRu-Yuan Yang, 楊茹媛, C. - T. L., W. - C. T., Y. - C. C., & M. - H. W.
其他編號0000
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