The effect of the low temperature on the microcrystalline silicon fabricated by high density plasma enhanced vapor deposition

in International Symposium (oral presentation paper), 國際研討會(全文口頭發表)
標題The effect of the low temperature on the microcrystalline silicon fabricated by high density plasma enhanced vapor deposition
出版類型國際研討會(全文口頭發表)
出版年度2009
AuthorsRu-Yuan Yang, 楊茹媛, Y. - C. C., & W. - H. C.
其他編號0000
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