鋁/矽膜厚比對誘發多晶矽之成長機制與結晶性之影響

in National workshop (full text oral presentation), 國內研討會(全文口頭發表)
標題鋁/矽膜厚比對誘發多晶矽之成長機制與結晶性之影響
出版類型國內研討會(全文口頭發表)
出版年度2009
Authors, 管鴻, Ru-Yuan Yang 楊茹媛, Min Hang Weng 翁敏航, 吳春森, 徐政傑, & 孫嘉鴻
會議名稱中國材料科學學會年會
其他編號0000
校址:912 屏東縣內埔鄉學府路1號 總機:886-8-7703202 傳真:886-8-7740165 系統開發統維護單位:國立屏東科技大學 電算中心 版權所有