不同氧氣流量對射頻磁控濺鍍製備氧化鋅薄膜之 C 軸取向與光學特性之影響

in National workshop (full text oral presentation), 國內研討會(全文口頭發表)
標題不同氧氣流量對射頻磁控濺鍍製備氧化鋅薄膜之 C 軸取向與光學特性之影響
出版類型國內研討會(全文口頭發表)
出版年度2009
AuthorsCHIN-MIN HSIUNG, 熊京民, 陳威宇, Ru-Yuan Yang 楊茹媛, 林和昇, Min Hang Weng 翁敏航, & Shoou-Jinn Chang 張守進
會議名稱中國材料科學學會年會
其他編號0000
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