電子束蒸鍍不同奈米鋁膜厚度對非晶矽誘發成多晶矽之微結構與載子移動率之影響

in National workshop (full text oral presentation), 國內研討會(全文口頭發表)
標題電子束蒸鍍不同奈米鋁膜厚度對非晶矽誘發成多晶矽之微結構與載子移動率之影響
出版類型國內研討會(全文口頭發表)
出版年度2009
Authors, 管鴻, Ru-Yuan Yang 楊茹媛, 徐政傑, 曾坤三, & Min Hang Weng 翁敏航
會議名稱中國機械工程學會第二十六屆全國學術研討會
其他編號0000
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