On-Wafer dielectric measurement technology for high resistivity silicon transmission line Interconnect characterization

in National workshop (full text oral presentation), 國內研討會(全文口頭發表)
標題On-Wafer dielectric measurement technology for high resistivity silicon transmission line Interconnect characterization
出版類型國內研討會(全文口頭發表)
出版年度2006
AuthorsRu-Yuan Yang, 楊茹媛, Ru-Yuan Yang C. - Y. H., Min Hang Weng 翁敏航, Y. - K. S., & H. - W. W.
會議名稱SNDT
其他編號0000
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