Evaluation of deposited Zr-Sn-Ti-O Thin Film for interconnect layer

in National workshop (full text oral presentation), 國內研討會(全文口頭發表)
標題Evaluation of deposited Zr-Sn-Ti-O Thin Film for interconnect layer
出版類型國內研討會(全文口頭發表)
出版年度2006
AuthorsRu-Yuan Yang, 楊茹媛, Y. - K. S., Y. - S. H., Min Hang Weng 翁敏航, & Y. - M. Y.
會議名稱SNDT
其他編號0000
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