鋁金屬誘發結晶法製備之多晶矽薄膜其成長機製之研究

in National workshop (full text oral presentation), 國內研討會(全文口頭發表)
標題鋁金屬誘發結晶法製備之多晶矽薄膜其成長機製之研究
出版類型國內研討會(全文口頭發表)
出版年度2007
AuthorsRu-Yuan Yang, 楊茹媛, 涂在根, 于劍平, & Min Hang Weng 翁敏航
會議名稱第五屆精密機械與製造技術研討會
其他編號0000
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