奈米鋁金屬誘發低溫多晶矽薄膜之製備及分析

in National workshop (full text oral presentation), 國內研討會(全文口頭發表)
標題奈米鋁金屬誘發低溫多晶矽薄膜之製備及分析
出版類型國內研討會(全文口頭發表)
出版年度2007
AuthorsRu-Yuan Yang, 楊茹媛, Chien-Wei Huang 黃健瑋, 朱孝業, & Min Hang Weng 翁敏航
會議名稱2007年材料科學學會年會
其他編號0000
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