Characterization of aluminum-doped zinc oxide (AZO) thin films by rf magnetron sputtering at different substrate temperature and sputtering power

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標題Characterization of aluminum-doped zinc oxide (AZO) thin films by rf magnetron sputtering at different substrate temperature and sputtering power
出版類型SCI(Sciences Citation Index)
出版年度2013
AuthorsRu-Yuan Yang, 吳宏偉, Ru-Yuan Yang 楊茹媛, CHIN-MIN HSIUNG 熊京民, & Chien-Hsun Chu 朱建勳
開始頁166
頁數5
出版日期2013 / 1
其他編號0000
期刊名稱Journal of Materials Science: Materials in Electronics
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