60MHz PECVD 沉積之微晶矽薄膜之光電特性

in Domestic Conference (poster paper), 國內研討會(全文海報發表)
標題60MHz PECVD 沉積之微晶矽薄膜之光電特性
出版類型國內研討會(全文海報發表)
出版年度2013
AuthorsCheng-Yuan Hung, 洪政源, Ru-Yuan Yang 楊茹媛, 孫嘉鴻, Min Hang Weng 翁敏航, & 吳春森
會議名稱中國材料科學學會年會
出版日期Oct 1 2013 12:0
會議地點桃園
其他編號0000
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