Improving the Microstructure and Electrical Properties of Aluminum Induced Polysilicon Thin Films Using Silicon Nitride Capping Layer

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標題Improving the Microstructure and Electrical Properties of Aluminum Induced Polysilicon Thin Films Using Silicon Nitride Capping Layer
出版類型SCI(Sciences Citation Index)
出版年度2014
AuthorsRu-Yuan Yang, M. - H. W., C. - T. P., Chien-Wei Huang 黃健瑋, & Ru-Yuan Yang 楊茹媛
出版日期2016 / 1
其他編號0000
期刊名稱Journal of Nanomaterials
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