微球透鏡製作與光學特性之模擬

in National workshop (full text oral presentation), 國內研討會(全文口頭發表)
標題微球透鏡製作與光學特性之模擬
出版類型國內研討會(全文口頭發表)
出版年度2004
AuthorsYung-Chang Chen, 陳永昌, Ru-Yuan Yang 潘正堂, 周業興, Chi-Chang Hsieh 謝其昌, & 謝清泓
會議名稱中國機械工程學會第二十一屆全國學術研討會
出版日期Dec 1 2004 12:0
會議地點高雄
其他編號0000
中文摘要

採用雙披覆層製程技術,可在矽晶圓基板表面製作出微球透鏡(mirco-ball lens)和蘑菇狀透鏡(micro-mushroom lens)。該技術利用AZ4620光阻劑和SP341聚亞醯胺(PI)兩種聚合物材料披覆在矽基板上。經熱回流過程後,因材料物理特性的關係,光阻劑和PI材料會分別形成微球透鏡及支承微球透鏡之臺座。使用較小圓柱直徑或較厚披覆層高度的光阻劑時,將可獲得較小的微球透鏡;另外,在熱回流過程中,若溫度高於PI材料的玻璃轉換溫度(Tg)時,則光阻劑材料將會形成蘑菇狀透鏡。由於微球透鏡的大小與光折射路徑有密不可分的關係,進而引響光學特性,因此本研究針對四種不同大小之微球透鏡與蘑菇狀透鏡進行光學模擬比較分析,發現不同尺寸微球透鏡其入射光經第二折射面後之最大光通量大小與發生位置均會產生顯著差異,並且在直徑大小相同的條件下,微球透鏡之最大光通量強度高於蘑菇狀透鏡。 關鍵字:微球透鏡、蘑菇狀透鏡、熱回流、光通量

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